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诺普得

セミトロン® 半導体エンジニアリングプラスチック

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製品説明

セミトロン®半導体グレードの製品は、設計者と顧客が部品製造装置の性能を最適化するのに役立つように開発されています。 さらに、セミトロン®半導体グレードは、部品製造に関して高い耐摩耗性、耐薬品性、帯電防止性を必要とする特殊なアプリケーションに適しています。

Semitron®は、コンポーネントの動作およびテストプロセス用と、次世代CMPプロセス用の2つの主要なファミリに分けられます。



先端ポリマー材料

Semitron MP 370

Semitron MP 370材料は半導体製造業界で使用されており、精密テストソケットの設計と製造においてより多くの選択肢を提供します。

セミトロンMP 370は、PEEK固有の吸湿性と耐高温性を備えているだけでなく、高い強度と寸法安定性も備えています。 このカスタムメイドの配合材料の優れた機械加工性により、より繊細かつきれいに加工することができます。

  • 吸湿性が低い

  • 小型でタイトな穴型のための強力な被削性

  • 強度と剛性は未充填のPEEK材料を上回ります

  • 内部応力が低く、成形ブランクがないという「ソフトコア」の問題

Semitron MDS 100

セミトロンMDS 100は、強度、剛性、安定性を非常によく兼ね備えています。 制御されていない、または高精度が要求されるアプリケーションで使用するために開発されました。 Semitron MDS 100は、半導体テストソケット、ネスト、固定具、および包装機器に適しています。

  • 24時間で0.10%の吸湿率(ASTM D570)

  • 210°Cに強い温度

  • 弾性率 > 1,400,000 psi

帯電防止POM

Semitron ESd 225

Semitron ESd 225 は、ハードディスク ドライブの製造に使用される治具に適した材料であり、シリコン ウェーハのプロセス作業にも適した材料です。色は茶色です。

  • 表面抵抗率: 1010 - 1012 オーム/平方

  • 107℃までの耐熱性

  • 良好な耐摩耗性

応用

  • ウェーハコーム

Semitron® ESd 225 から機械加工されたウェーハコームは、毎年何百万ドルものウェーハ損失を引き起こしていた、搬送装置によって発生する静電気の問題を解決します。 (以前の素材を置き換えます: ナイロン、標準アセタール)

帯電防止PEI

Semitron ESd 410C

Semitron ESd 410Cは、チップ検査プロセスで使用され、検査装置を介してチップを操作します。 その色は黒くて不透明です。

  • 表面抵抗率: 104 - 106 オーム/平方

  • 耐熱性は210℃まで

  • 低応力で公差の厳しい加工に最適

  • 高い強度と剛性

応用

  • オペレーティングトレイ

信頼性の高い帯電防止特性と寸法安定性を備えたセミトロン® ESd 410C機械加工トレイ。 (以前の材料を置き換えます:PPS、PEEK、ベスペル® PI)

Semitron ESd 420

Semitron ESd 420 は、高温環境で使用できる真の帯電防止プラスチック製品です。

  • 表面抵抗率: 106 - 109 オーム/平方

  • 優れた熱性能

Semitron ESd 420V

セミトロンESd 420Vの表面抵抗率は106〜109オーム/平方です。 硬くて高強度の素材で、寸法変化なしに湿気にさらされます。 熱性能が高すぎない場合、Semitron ESd 420Vは費用対効果の高い代替品です。

静電PEEK

Semitron ESd 480

この帯電防止PEEKの表面抵抗率は106〜109オーム/平方です。 Semitron ESd 480の非常に高い寸法安定性により、重要な試験治具に理想的な材料となっています。 その優れた耐薬品性により、静電放散も重要なウェーハ搬送およびウェットプロセスツールの構造部品としての使用に最適です。 セミトロンESd材料として、セミトロンESd480は絶縁破壊の影響を受けやすいです。 (このページの考慮事項を参照してください。 )

Semitron ESd 490HR

Semitron ESd 480 と同様の物理的特性を持つ、わずかに高い抵抗率の PEEK 材料。

  • 表面抵抗率:1010-1012オーム/平方

帯電防止PTFE

Semitron ESd 500HR

独自の合成雲母で強化されたSemitron ESd 500HRは、優れた低摩擦特性と寸法安定性を提供します。 PTFEが使用される場合は常に、セミトロンESd 500HRを検討してください。 静電気放出を制御するのに理想的な材料です。 色は白です。

  • 表面抵抗率:1010-1012オーム/平方

  • 260°Cに加熱

  • 保温

  • 非常に低い摩擦係数

  • 幅広い化学薬品に耐性があります

応用

プラグイン

Semitron ESd 500HRシートから機械加工された帯電防止インサートは、静電気放出による敏感な部品の損傷を軽減します。 (旧素材:セラミック)

帯電防止PAI

Semitron ESd 520HR

Semitron ESd 520HR は、静電散逸性 (ESd)、高強度、耐熱性を兼ね備えた業界初の素材です。この新しいタイプの ESd 材料はテスト装置で使用され、ネスト、ソケット、コンタクトの加工に適した材料であり、他のコンポーネントの動作部品にも適した材料です。 520HR は、高電圧 (>100V) での絶縁破壊に対する耐性があり、これがそのユニークかつ重要な特徴です。以下の図は、自動検査選別機で一般的に使用されるプラスチック材料の電気的特性を示しています。従来の炭素繊維強化製品の導電率は、中程度の電圧にさらされると不可逆的に増加します。

すべての機械的特性が有能であるため、Semitron ESd 520HRのみが全電圧範囲にわたって電気的特性を維持できます。

表面抵抗率: 1010 - 1012 オーム/平方

応用

ICコンポーネントテストフィクスチャ

静電散逸(ESD)と高い機械的強度の組み合わせにより、テストフィクスチャメーカーは最近、集積回路テストヘッドの加工にSemitron ESd 520HRを使用しました。 Semitron ESd 520HRの高い機械的強度は、1時間あたりのテストセル数を増やしながら、テストヘッドの耐用年数を延ばします。

ネスト、ソケット、コンタクタのテストに使用される場合、Semitron ESd 520HRは、帯電防止特性とすべての機械的特性の要件を満たす最初の製品であり、非常に信頼性があります。 その帯電防止特性(1010〜1012オーム/平方の表面抵抗率)は、漏れのリスクを最小限に抑えるのに十分です。 また、セミトロンESd 520HRが100ボルトを超える電圧で抵抗率を維持することも重要です。

セミトロン® CMP 材料

Semitron CMP LL5

セミトロンCMP LL5は、CMPツールの性能を最大化するために開発された次世代材料です。 その色は白くて不透明です。

  • PPSの5倍の超長寿命素材

  • 60℃までのCMP用途に最適

  • 酸化化学反応における最高のパフォーマンス - PPS の 8 倍優れています

Semitron CMP XL20

Semitron CMP XL20は、三菱化学の先端材料研究開発チームが開発した最高級のCMP材料で、色はカーボンブラックで不透明です。

  • モノリシックウェーハのコストを大幅に削減

  • パフォーマンスはPPSを超え、ほとんどのプロセスで20倍に達します

  • 高い強度と剛性により、エッジの損傷が少なく、一貫性が良好です


このページの内容は https://www.mcam.com/zh/製品カタログ/プラスチック加工プロファイル/ からの抜粋です。