探针台用途：

　　手動プローブステーションの主な目的は、半導体チップの電気的パラメータテスト用のテストプラットフォームを提供することであり、プローブステーションはチップのさまざまな仕様を吸着し、調整可能なテストピンとプローブホルダーの数を提供し、測定器は集積回路電圧、電流、抵抗、静電容量電圧特性曲線およびその他のパラメータ検出を完了できます。 科学研究分析、スポットチェック、チップのテストに適しています。

プローブステーションの使用方法:

　　1.サンプルを真空チャックに入れ、真空バルブ制御スイッチを開いて、サンプルがチャックに安全かつしっかりと吸着されるようにします。

　　2.チャックX / Y軸コントロールノブを使用してチャックステージを動かし、顕微鏡の低倍率対物レンズフォーカスの下でサンプルをはっきりと確認します。

　　3.顕微鏡を高倍率対物レンズに切り替え、大倍率で測定するポイントを見つけてから、顕微鏡の焦点とサンプルx-yを微調整し、画像をはっきりと調整し、顕微鏡の視野の中央に測定ポイントを取ります。

　　4.測定するポイントの位置を確認したら、プローブホルダーの位置を調整し、プローブを取り付けた後、最初にプローブを測定ポイントの位置に近づけ、次にプローブホルダーX-Y-Zの3つの微調整ノブを使用して、プローブを測定ポイントにゆっくりと移動させ、この時点でアクションは注意して遅くする必要があり、アクションが大きすぎて誤ってチップを損傷するのを防ぐために、プローブの先端が測定ポイントの上に吊り下げられている場合、最初にY軸ノブを使用してプローブを少し進め、次にZ軸ノブを使用して針を下げ、最後にX軸ノブを使用して左右にスライドして、傷が少ないかどうかを確認します。 暴露の証明。　　

       5.針先と測定点が良好に接触していることを確認した後、接続されたテスト機器を介してテストを開始できます。

トラブルシューティング

　　この機器を使用すると、いくつかの問題が発生する可能性があります。一般的な障害と解決策を以下に示します。

　　症状/考えられる原因/対処法

　　サンプルを移動した後、画像がぼやける/顕微鏡が垂直ではない/垂直顕微鏡を調整する

　   サンプルが水平ではありません / サンプルステージが水平ではありません / サンプルステージは水平です

　　顕微鏡の視野が明るくない、エッジがカットされている、または画像が見えない/コンバーターが位置決め位置にない/コンバーターを位置決め位置に回す

　　チューブミラーターレットが位置決め位置にありません / チューブミラーターレットを位置決め位置に回してください

　　照明の明るさが足りない / 光源の明るさを調整するか、絞りの穴を大きくしてください

　　接眼レンズなし / 接眼レンズあり

　　対物レンズなし/対物レンズあり

　　顕微鏡画質の劣化/接眼レンズ、チューブレンズの汚れ/接眼レンズ、対物レンズ、チューブレンズの汚れた部分の清掃

　　絞りが大きすぎる、または小さすぎる / 絞りを調整してください

　　フォーカスが正しく調整されていない / フォーカスハンドルを調整してください

　　サンプルがカバーガラスなどのメディアで覆われている/カバースリップなどのメディアから除去されている

　　鮮明な状態で画像をぼかす/サンプルを斜めに配置する/サンプルを平らにする、またはサンプルステージのレベルを調整する

　　対物レンズがねじ込まれていない / 対物レンズがねじ込まれている

　　目が疲れやすい / 双眼頭の瞳孔間距離が術者と合っていない / 双眼頭の瞳孔間距離を調整する

　　接眼視度が正しく調整されていない／接眼視度を調整してください

　　不適切な照明/光源または絞りライトバーの穴の明るさを調整します

メンテナンスとメンテナンス

　　1.衝突を避ける:CSプローブステーションを設置して操作するときは衝突を避け、機械の故障や異音を避けるために、本体を傾けたり横にしたりするのではなく、平らに配置する必要があります。

　　2.機器の輸送:機器を輸送するときは、まず電源コードを抜いてください。

　　プローブステーションの可動部分に触れないように、機器は特別な箱に入れて輸送する必要があります。

　　3. 機器の保管

　　使用後は、機械精密部品、光学部品、電気接触面をほこりで汚染して機器の精度が低下しないように、清潔に保ち、できるだけほこりを乾かすように注意する必要があります。

　　プローブステーションの本体を掃除するときは、直接水をかけないようにして、ホコリのない布で軽く拭いて乾燥させてください。故障や危険を避けるため、機械に硬いものを触れさせないでください。

　　プローブステーションの光学系をクリーニングするときは、レンズペーパーを無水アルコールで中央から外側にそっと拭くことができます。 可燃性物質無水アルコールが無限大の場合は、安全な使用に注意してください。

　　電源が切れたり、長期間使用されなかったりする場合は、旅行中は、機械の寿命を維持するために電源コードを抜いてください。

　　オペレータは、データの正確性と機器の通常の使用を保証するために、要件に従って厳密に操作する必要があります。

　　4. 労働環境

　　プローブステーションは、安定した信頼性の高いテーブル、できれば耐衝撃装置を備えた作業台に設置し、高温、多湿、激しい振動、直射日光、ほこりの多い環境での使用は避けてください。

　　最適な温度範囲は5°C~40°C、最適な湿度は40%〜85%、空気中の湿度が30%未満の場合、信頼性の高い湿度コントローラーが制御し、50%~60%の範囲を維持します。 使用するときは、ドアと窓をできるだけ閉じて、部屋の除湿効果を実現します。

　　電源: 220±10%、50~60Hz。

　　Yizhunテクノロジーは、手動プローブステーション、レーザーアンシールマシン、レーザーデキャップ、発光顕微鏡、EMMI、IV自動曲線測定器、赤外線顕微鏡、その他の半導体故障分析装置に適しています。